超音波モータ(ピエゾソニック モータ)は電圧を加えると伸縮する圧電セラミックを駆動源とした静音で高トルクなモータです。 一般的な電磁力を利用するモータと違い、コイルや磁石を利用せず、摩擦力を利用して作動するため、小型・軽量でありながら磁場環境で利用でき、バックラッシュのないモータです 。 この特性を活かして、位置決めステージやベルトコンベア、角度割り出し機、ロボットアームなどの姿勢制御装置のダイレクトドライブ用モータ、MRIや半導体製造装置内用モータとして最適です。